SEM原位冷熱台的應用背景

SEM:掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope ，縮寫(xie) 為(wei) SEM），簡稱掃描電鏡，是利用細聚焦電子束在樣品表麵掃 描時激發出來的各種物理信號來調製成像的一種常用的顯微分析儀(yi) 器。

      SEM原位冷熱台是一種在掃描電子顯微鏡（SEM）標準樣品台上（無需改造電鏡內(nei) 部），提供樣品原位變溫測試的電鏡附件。通過外接法蘭(lan) 裝置實現對冷熱台上的樣品進行控溫，穩定後溫控精度可達±0.1℃ 可實現樣品變溫測試的溫度範圍：蔡康SEM原位冷熱台-196~200℃ / -196~200℃/-120-600℃/RT-1500℃，滿足原位高低溫材料相變微觀表征。SEM原位冷熱台適合於(yu) 各種樣品在SEM中進行高低溫結構研究，固定在現有樣品台上,還可以加上探針構成探針冷熱台。支持在現有各種掃描電子顯微鏡（日立、國儀(yi) 量子等）適配。

蔡康SEM原位冷熱台特點：

（1）通過加熱和製冷可實現快速升降溫
（2）控溫精度高±0.1℃，可程序階梯控溫，溫控範圍寬（-196~200℃ / -196~200℃/-120-600℃/RT-1500℃）
（3）能在較大的電子束流下獲得高質量圖像
（4）可定製SEM樣品架，使用過程簡單
（5）製冷完成測試後可快速（60℃/min）升溫達到室溫，正常更換樣品，測試效率高。